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    宁雨有点奇怪。

    她知道大周国内很多人会对迈国幸灾乐祸，但恨得这么咬牙切齿跟恨小倭子似的，可太少见了。

    这人是干什么的？说的什么我都没听懂……

    方豫闻言，让张博士指了一下这两台DUV损坏的位置，看似好奇的摸了摸。

    张博士想说这两台设备太精密，不能随意触碰，但刚张开嘴，才想到这特么是老板。

    东西都是人家买的，想摸就摸吧。

    好在方豫没摸多久，就松开了手。

    “我觉着这东西不是坏的啊，看起来挺正常的，再检测试试。”

    就算张博士穿着无尘服，透过面罩都能看到脑门上青筋直冒。

    你觉着？

    这玩意儿坏了就是坏了，没坏就是没坏，你觉着有个屁用？

    我还觉着柳菲菲应该对我一往情深呢，我觉着有用吗？

    看不到故障灯在那亮着吗？

    要不是看在你救了我的份上，我、我特么跳起来打你膝盖！

    “方总，DUV重启一次，至少要十几个小时，花费几十万的费用，我们可以确信……”

    张博士绞尽脑汁干巴巴的劝说道。

    张博士说的也不完全是托词，阿斯麦的DUV每次冷启动都要完全置换气体，含有氖、氩、氟的准分子激光光源气体混合物很贵，至少要大几千迈元。

    而且，DUV的激光腔寿命以脉冲数计数，每开关机一次，都会造成寿命的降低。

    最重要的是，光刻机这东西也有点玄学，有可能关机前只是双工件台和光源系统有问题，重新开机后，不知道哪里又会蹦出新的问题。

    “无非就是一点稀有气体的损失，问题不大。而且不需要冷启动，只需要在 HMI做模块复位，跑受影响子系统的qualification，二三十分钟就能结束，不会有什么大损失。”

    方豫伸手敲了敲面前这台DUV的黄色外壳。

    听了方豫的话，张博士不由得目瞪口呆。

    你懂光刻机？

    既然懂，怎么还说什么“我觉得”？

    “这……这……可是……”

    张博士一脑子浆糊，吭哧半天，也不知道该说什么好。

    “重新自检，看看故障能不能排除，不能排除，我们再想办法。”方豫抱着双臂，语气轻松，却充满着不可置疑的味道。

    “……那好吧。”张博士被迫妥协，叫来两个技术员打下手。

    三人先在HMI终端上登录工程师权限，屏幕上弹出一连串灰底白字的系统菜单。

    张博士伸手点进维护界面的子系统控制组群，找到了亮着红灯的工件台控制与光源模块。

    “先做工件台自检吧。”

    一通操作后，张博士点了一下对话框中的确认键，紧接着，就听到设备内部传来“咔、咔”几声电磁锁切换的清脆声响。

    双工件台下方的真空泵开始抽气，伴随着低沉的气流声，整个平台缓缓降到维护位置。

    宁雨震撼的看着这台大型设备的动作，充满了顶级机械工程的美感，感觉跟变形金刚似的。

    几秒后，工件台的干涉仪和温控系统开始依次重新初始化，HMI上的进度条缓缓前进。

    高精度激光干涉仪的红点在台面上来回扫描，反馈曲线在屏幕右侧实时抖动着趋于平稳。

    整个过程也就持续了三四分钟，屏幕一闪，原本显示故障的位置瞬间变成了“Stage OK”的字样，警告状态瞬间消失。

    消失了？

    张博士身体一震，不可思议的揉了揉眼睛。

    两名研究员也是一脸的惊诧，这台机器他们捣鼓了好久，双工件台仍旧只有一个能用，怎么现在居然莫名其妙的恢复了？

    故障排除靠重启？

    这不可能！

    拿到这台机器后，子模块复位做了这么多次，没有一次能自检通过的。

    怎么恢复的？

    你特么玩我呢吧？

    张博士深吸一口气：“再看一下光源系统。”

    两名研究员忙不迭的光源控制，开始执行光源系统的复位程序。

    远处的激光发生器先是发出一声低沉的嗡鸣，随后切换到高频的脉冲声，像有人在密集地敲打金属。

    紧接着，激光腔内发出气体注入的嗤嗤声，混合的特种气体通过气路调节阀依次导入，屏幕上的传感器读书开始快速的跳动起来。

    光束被导向光功率传感器与稳定度监测器，HMI上的曲线从最初的波动逐渐收敛成一条平滑的直线。

    十分钟后，屏幕正中央弹出一行绿色的大字：

    Laser Source: PASS。

    PASS！？

    张博士还以为自己看错了，不可思议的抬起手揉眼睛，却发现自己戴着全封闭的面罩，根本揉不到。

    这是怎么回事！？

    等等，刚才自己说了那么半天故障问题，还说什么需要换件之类的，不会让老板觉得自己是想坑他钱吧？

    张博士额角的冷汗一下子就冒出来了。

    “不错，不错。”方豫鼓了鼓掌，语带笑意，“刚刚可能是光源轻微老化和地面沉降导致工作台配平的问题，能一次通过自检，就算新机器也不容易做到，张博士果然名不虚传。”
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